ШУЛЬМАН БОРИС ЯКОВЛЕВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 483275 Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.01.74 (21) 1986177/23-5 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 05.09.75. Бюллетень № 33 Дата опубликования описания 13.12.75 (51) М. Кл. В 29I> 5/02 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изо...

  Изобретение относится к способу формирования защитного слоя резиста и устройству для его осуществления и позволяет повысить качество защитного слоя путем исключения внутренних напряжений и уменьшения его дефектности. На подложку 4 наносят резистивный материал, затем нагревают подложку 4 нагревателем 9 со стороны свободной поверхности для формирования в подложке теплового фронта от...