ЛЯШЕНКО СЕРГЕЙ ДМИТРИЕВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗО6РЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (.1) 49229З (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07 08 72 (21) ISI86I4/23-26 (51) М. Кл. В О? Й53/I6 с присоединением заявки Государственный комитет Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 25 П,75 Бюллетень №43 (45) Дата опублик...

  Изобретение относится к сорбентам для очистки газов от паров диалкилтеллура, применяется в производстве полупроводниковых материалов. Сорбент содержит, мас.%: азотную кислоту 1,6; активированный уголь - остальное. Сорбент готовят пропиткой активированного угля раствором азотной кислоты с последующей сушкой . Время защитного действия сорбента высотой 0,05 м при скорости очищаемого...