ПОТЕПАЛОВ ВАЛЕРИЙ ПАВЛОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (iII 497224 Соеэ Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авг. свид-ву (22) Заявлено 15.02.74 (21) 1996430/23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.12.75. Бюллетень М 48 Дата опубликова ния описания 19.04.76 (51) М. Кл. С 01Ь 25 06 Государственный комитет Совета Министров СССР (53) УДК 5...

  (72) Авторы изобретеиия Н.А. Потолоков, В.П. Потепалов, А.А. Ефремов и В.П. Колганов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА Изобретение относится к очистке хлористого водорода и может быть ис" пользовано при производстве хлористого водорода особой чистоты, используемого в технологии эпитаксиальных структур. Известен способ очистки хлористого водорода, заключаю...