ПАРФЕНОВА АЛЕКСАНДРА ВАСИЛЬЕВНА

  ::г",".; 1 блиотеке ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (1 1) 500555 (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.03.74(21) 2010035/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано25.01.76,Áþëëåòåíü № 3 Дата опубликования описания 01.06.76 (51) M. Кл. Н 01L21/00 Государственный комитет Совета Минист...

  Союз Советсних Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 29.10,73 (21) 196813 1) М. Кл. . Н OIL 21/463 с присоединением заявки №вЂ” Государственный комитет Совета «1инистров СССР ео делам изобретений н открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.05,76. Бюллет ) УДК 621.382(088.8) (45) Дата опубликования описания (72 Авторы изобретения В. Л...

  СПОСОБ ДВУСТОРОННЕГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ , при котором детали перед обработкой свободно устанавливают в сепараторе , сообщают ему сложное плоскопараллельное движение между двумя соосно врашаюш .имися инструментами, а в зону обработки подают полируюш,ую жидкость, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки монокристаллических подложек, перед обработкой...