Татаринов Ю.П.

 Способ подогрева кремниевых стержней при получении кремния в аппарате водородного восстановления хлоридов кремния за счет тепла, получаемого от газа-носителя, например, водорода, отличающийся тем, что, с целью повышения качества готового продукта, нагрев водорода ведут в дуговом плазмотроне.

 Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечени...