Кралькина Е.А.

 Использование: ионная техника. Сущность изобретения: для получения пучка ионов в разрядном объеме осуществляют генерацию плазмы путем возбуждения в нем безвихревой электрической компоненты высокочастотного поля и аксиально симметричного стационарного магнитного поля, которое создают неоднородным, спадающим к оси симметрии разрядного объема. В генерируемой плазме возбуждают собственные эле...

 Использование: плазменная техника для генерации ионных ленточных пучков, которые могут использоваться в различных технологических процессах, в том числе для нанесения покрытий и ионной имплантации. Сущность изобретения: плазменный источник ионов с ленточным пучком содержит ионизационную камеру с эмиссионным отверстием прямоугольной формы, узел подачи в камеру рабочего вещества, узел ввода...

 Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы. Изобретение может использоваться в технологических процессах с использованием ионных пучков для нанесения покрытий, ионного ассистирования, ионной имплантации и для изменения свойств материалов. Плазменный источник ионов...

 Изобретение относится к плазменной технологии нанесения покрытий на металлические и диэлектрические подложки, а более конкретно к технологии плазменной полимеризации, и к процессам генерации плазмы. Способ плазменного осаждения полимерных покрытий включает помещение обрабатываемого образца в разрядный объем, заполнение разрядной камеры реакционным газом, содержащим по меньшей мере один сп...

 Изобретение относится к плазменной технике и плазменной технологии обработки материалов, а более конкретно - к методам обработки поверхностей изделий при помощи газовых разрядов высокого давления. Способ плазменной обработки материалов включает подачу потока рабочего газа в разрядный промежуток и зажигание электрического разряда с помощью протяженного разрядного электрода, расположенного...

 Группа изобретений относится к плазменной технике и технологии обработки материалов. Плазменный реактор содержит разрядную камеру с газораспределителем, камеру обработки вещества, магнитную систему, создающую в полости камеры стационарное неоднородное магнитное поле, и узел ввода высокочастотной энергии, состоящий из двух секций. В первом варианте исполнения первая секция выполнена в виде...