Косицын Л.Г.

 Использование: энергомасс-спектрометр вторичных ионов относится к приборам для диагностики поверхности ионными пучками, предназначен для определения химического и элементного состава поверхностных слоев металлов и полупроводников. Сущность изобретения: в устройстве предлагается оригинальное решение организации двух ионно - оптических каналов, в котором одни и те же элементы ионно - оптиче...

 Магнитная распылительная система (МРС) относится к области плазменной техники и предназначена для нанесения тонких пленок на поверхность твердых тел, преимущественно листовых материалов. МРС, как и прототип содержит анод, являющийся корпусом системы, катодный узел и кассету для обрабатываемого материала. Катодный узел представляет собой магнитный блок, закрытый плоской распыляемой мишенью...