КОГО ВАЛЕНТИН СТЕПАНОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 11 11 506086 Союз Советских Социалистических Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.05.70 (21) 1442896 26-25 с присоединением заявки ¹ Государственный комитет (23) Приоритет Совета Министров СССР Опубликовано 05.03.76. Б?оллетень ¹ 9 (51) М. Кл 2 Н 01L 21/66 (53) УДК 621.382(088.8) по делам изобретений и...