СВАТЕНКО ПАВЕЛ ГРИГОРЬЕВИЧ

  ОЛ ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскин Социалистимескии Республик (11) 507603 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.12,74(21) 2087165/28 5 с присоединением заявки М (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.03.76.Бюллетень _#_ 11 (45) Дата опубликования описания 06 04 76 (51) М. Кл. С 08 K 5/56 С 09 К 15/00 Государственный комитет С.ввть М...

  Изобретение относится к технологии оптоэлектронных приборов и может быть использовано для селективного травления стекла по отношению к прозрачным проводящим пленкам и . Цель изобретения состоит в повышен И селективности по отношению к пленке InjOjrSnO. Раствор .для травления стекла содержит, г/л: 50-820; 15,14-75,7; вода остальное. Скорость травления термического SiOj 2-45 нм/мин...