КАБАКОВ АРКАДИЙ ВАЛЕНТИНОВИЧ

  О П И С А Н И Е 0п1) 508903 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Секте Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31.10.74 (21) 2072408/26-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12 Дата опубликования описания 20.05.76 (51) М. Кл. Н 03 Н 3/00 Н 05К 13/08 Государственный комитет Совета Мин...

  Союз Советских Социапистичесимх Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61 ) Доя ол н и тел ьное к а вт. с вид- ву— (22)»явлено 10. 12. 80 (21) 3216925/18-21 (5! )М. Кл. с присоеаинением заявки %в 4 011 29/22 Тоеударетвсииый камитет (23) Приоритет ео делем изобретений и открытий ОпУбликовано 15, 07. 82, Бюллетень ра 26 (53) УДК 621.317. ° 75 (088. 8) Дата опубликования опис...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ, содержащее гибкий фотошаблон, источник актиничного излучения , механизм совмещения фотошаблона и подложки в виде вакуумной камеры с. держателем фотошаблона и держателем подложки, о т л и ч а .tout е е с я тем, что/ с целью пов зИ1зения качества и зделия,- держатель фотошаблона снабжен камерой избыточ:ного давления. (Л „.Я0„„14 А СОЮЗ...