СТАРОВ СТАНИСЛАВ ДМИТРИЕВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К А4ТОУСКОММ С4ИДВТВЛбСТ4М (61) Дополнительное к авт. сзнд-ву (22) Заявлено 06.03.75(21) 2111421/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.04.76„Бюллетень № 15 (46) Дата опубликования описания 15.09.78 (11) 5Ц519 (И) > Кл. Г,01В 11/08 501В 9/08 ГкудврстеввмВ щаает Вааата Маивтра СССР в делам изабретеаа и еткрытвВ Ф) Ш -531.715.27...

  Изобретение относится к контрольноизмерительной технике. Цель изобретения - повышение точности и надежности обнаружения дефектов путем вычитания видеосигналов от одного и того же участка структуры при разных типах освещения. Полупроводниковые структуры размещают в зоне контроля при помощи блока 2 перемещения структуры. Блоком 1 управления включаются осветители блока 5 углового ос...