ГРАБЧАК ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ

  (») 5l2492 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Ресоубиии (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04.04.74 (21) 2012533/18-24 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.04.76. Бюллетень ¹ 16 Дата опубликования описанпя 11.06.76 (51) М. Кл. - G 11С 11/40 Государственный комитет Совета Министров СССР ло делам...

  Сото э Советских Соцнапнстнческнх Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и)1005224 (6I ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлеио09.06.80 (21) 2938199/18 25 (5I }M. Кл. Н 01 L 29/78 с присоединением заявки №вЂ” Гееуаарствееей кетелтет (23) Приоритет- Опубликовано 15.03.83.. Б|оллетень ¹ 10 Дата опубликования описания 15,03.83 le млаи лзебретел...

  Изобретение относится к полупроводниковым микроэлектронным первичным преобразователям концентрации водородсодержащих газов, используемым в технологических процессах микроэлектронной и химической промышленности, атомной энергетике. Элементы преобразователя выполнены на тонкой консоли, являющейся частью полупроводниковой подложки (толщиной не менее двух ОПЗ), что обеспечивает стаби...