Темчин С.М.

  Изобретение может быть использовано при изготовлении подзатворных, межслоистых и пассивирующих покрытий для многоуровниевых сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: тонкую пленку диоксида кремния получают окислением дихлорсилана, причем реакцию проводят в квазистатических условиях при однократном воспламенении, а пламя инициируют удаленным из подложки импульсным локальным ис...

 Изобретение может быть использовано для обезвреживания химических отравляющих веществ. Способ включает реакцию разложения с воздействием УФ-излучения внутри реактора и подачу в него горючего вещества, причем инициирование реакции разложения ведут с помощью скользящего поверхностного разряда с одновременным использованием его в качестве источника УФ-излучения. Изобретение позволяет создать...

 Изобретение относится к двигателестроению и может быть использовано в системах зажигания двигателей внутреннего сгорания, в ракетных двигателях, камерах сгорания топливно-воздушных смесей, отработанных технологических и выхлопных газов. Изобретение позволяет повысить эффективность процесса горения. Способ заключается в инициировании горения с одновременной активацией газовой или газово-то...