РОМАНОВ С.И.

  о п и ймтМ ИЗОБРЕ ГЕНИ Союз Советсиии Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 130175 (21) 2095056/26-25 с присоединением заявки М (23) Приоритет Опубликовано 150630 Бюллетень И9 22 Дата опубликования описания 1806.30 н 01 L 21/265 Государственный комитет СССР но делам изобретений и открытий l (5З) УД (621. 382 (088. 8) (72) Авторы изобр...

  Изобретение относится к полупроводниковой микроэлектронике и может быть использовано в технологии создания приборов на изолирующих подложках. Целью изобретения является увеличение плотности размещения полупроводниковых приборов и процента выхода годных изделий на кремниевой пластине. Поставленная цель достигается за счет снижения механических напряжений и деформаций в структуре з...