РОЗЕНФЕЛЬД ЛЕОНИД БОРИСОВИЧ

  )&90 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (iп 6 Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04.05.75 (21) 2130746/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.06.76. Бюллетень № 24 Дата опубликования описания 22.07.76 (51) М. Кл Н 01J 37/26 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобре...

  Ь П И С А Н И Е ()950795 ИЗЬБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.01.80 (21) 2864872/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (51) М. К.. С 23 С 13/08.Гвеударствевный комитет (7l) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к нанесению покрытий в в...

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЯРКОСТИ ИСТОЧНИКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ содержащее последовательно установленные по электронно-оптической оси электромагнитную юстирующую систему, соединенную с регулируемым источником питания, а также подвижные измерительные диафрагмы и регистрирующий приемник, отлнчающеес я тем, что, с целью повышения точности измерений, измерительные диафрагмы жестко с...

  Изобретение относится к электроннооптическим и ионно-оптическим устройствам с изменяемой формой сечения пучка и может быть использовано в установках электроннои ионно-лучевой литографии. Целью изобретения является повышение производительности устройства и уменьшение искажений формы пучка. Устройство содержит две фигурные диафрагмы и многоярусную систему отклонения пучка. Система...