ПОЛЯКОВА НАТАЛЬЯ ГЕОРГИЕВНА

  Й-. «« .«ь-.»..й » О П И С А ЙОГЕ гни 519795 ИЗОБРЕТЕНИЯ Сюа Советских Ссднаднстнчссн::х Реснуеднк К АВТОРСКОМУ СВИЛ П".,ПЬС7ВУ ФЪ . (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.07,74 (21) 2044669/25 (51) М, Кл,"- Н 011 21 66 с присоединением заявки ¹ Государственный камнте. Совета Министров СССР (23) Приоритет I (53) «,,««1» 6-2 1 362(0ЯЯ 3) но делам изобретений О...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (1 683 857 Союз Советских Сацналнстнческнх Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.07.77 (21) 2512279/25-26 (51) М.К.. 6 01N 1/28 Н 011 21/66 с присоединением заявки № Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.09.79. Бюллетень ¹ Зо (45) Дата опубликования описания 30.09.79 (53) УДК 543.0...

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И |(ОНТРОЛЯ КОМПЛЕКТА ФОТОШАБЛОНОВ , включающий формирование. на стеклянных подложках модулей с рабочими структурами и реперными знаками и измерение срвмещаемости фотошаблонов, о т л и ч а ю тц и и с я тем, что, с целью повышения точности комплекта фото1111аблонов путем повышения достоверности контроля, одновременно с формгфованием модулей на стеклянных подлож...

  Использование: изобретение относится к приборам и устройствам для измерения поверхностного потенциала. Сущность изобретения: цель изобретения - повышение точности измерения за счет обеспечения возможности локального исследования поверхности пластины на каждом участке, соответствующем рабочему модулю, Устройство включает столик 3 для размещения пластины, вибрирующий зонда 1 для съ...