КОЛГИН ЕВГЕНИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

  Союз Советских Социалистииеских Реслублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (») 520644 ь 1 аЪ ЬА; \) ., ° . е t. (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено.29.01.75 (21) 2102041/07 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано05.07.76.Бюллетень №25 (4б) Дата опубликования опиеания27.08.76 (51) M. Кл.е Н 01 J 61/80 Н 01 К 1/28 Государс...

  О П И С А Н И Е (>66OI23 ИЗОБРЕТЕН И Я К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свпд-ву— (22) Заявлено 25.11.76 (21) 2423519/24-07 с присоединением заявки «¹â€” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.04.79. Бюллетень № 16 (45) Дата опубликования описания 28.05.79 (51) Ч.Кл.- Н 01 J 65/04 Государственный комитет по дела...

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности за счет компенсации постоянной составляющей дифракционного сигнала и за счет автоматической коррекции положения элемента топологического рисунка, расширение области применения за счет обеспечения возможности измерений при большей степени интеграции топологического рисунка независимо от...