Заморянская М.В.

 Использование: для изготовления наноэлектронных структур субмикронных размеров, применяемых для передачи, преобразования, хранения и генерации информационных сигналов. Сущность изобретения: способ получения кремниевых наноструктур включает воздействие физическо-химическим фактором на кремнийсодержащее вещество и последующее осаждение выделяющегося при упомянутом воздействии кремния в нано...