Коваленко В.Б.

 Самовозбуждающаяся бесщеточная синхронная машина, содержащая якорь и индуктор с обмоткой возбуждения на полюсах, в поверхностных зубцовых слоях которых размещена якорная обмотка совмещенного индукторного возбудителя, подключенная через полупроводниковый преобразователь к обмотке возбуждения, отличающаяся тем, что, с целью увеличения перегрузочной способности, якорная обмотка возбудителя в...

 Использование: в микроэлектронике на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Сущность изобретения заключается в следующем. В способе охлаждения полупроводниковых пластин между подложкодержателем и полупроводниковой пластиной размещают теплопроводящее вещество, в качестве которого используют газовую или воздушную прослойку, создаваему...

 Использование: микроэлектроника, на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Сущность изобретения: способ получения покрытия из фоторезиста включает нанесение на подложку дозы фоторезиста, формирование слоя и его предварительную подсушку. При этом подложка помещается на пневмовихревую воздушную прослойку, разгоняется до определенной с...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Устройство охлаждения полупроводниковых пластин содержит корпус с периферийной пневмокамерой, соединенной с магистралью подачи газа или воздуха и с рабочей зоной с одной его внешней стороны для размещения пластины, сообщающей...