ГЛЫБИНА НАДЕЖДА СЕМЕНОВНА

  Союз Советских Социал исти меских Реслублик О П И С А. И -И Е (ii) 530306 И3ОБРЕТЕН ИЯ И»ВТРЕСИРМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27.01.75 (21 } 2100299/04 (51) М. Кл. 503 С 1/68 с присоединением заявки № (23} Приоритет (43) Опубликовано 30.09.76Бюллетень ¹ 36 (53) ДК 771.51(088.8) (45) Дата опубликования описания07.01.77 Гасударственный комн...

  Область использования: фотолитографические процессы. Сущность изобретения: негативный фоторезист содержит, г: синтетический циклизованный изопреновый каучук 24,9-65,0; 2,6-бис(4 -азидобензаль)-4-метилциклогексанон 1,0-4,5; ксилол 140,0-200,0. Указанный каучук имеет средневесовую ММ 48000-65000, среднечисловую ММ 15000-20000, степень циклизации 100%. Снижается микронеровность форм...