СИМОНОВ АНАТОЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ

  .трн-, г (. ; & я:. : е.1 ;; p4 с; „., ОП ИСАНЙЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (») 532682 (61) дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.07.75 (21) 2150626/33 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.10 76 Бюллетень № 39 (45) Дата опубликования описания 01.03.77 (51) М. Кл. E 04 С 1/42 Гасударствен...

  Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к способам измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей способа - достигается путем расширения диапазона измерений в сторону увеличения энергии электронов зонда при сокращении точности. Используют объект с выступами прямоугольн...