Булгаков С.С.

  (19) SU (и) 533157 Al (51) 5 Н01ЕИ 28 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) к лвтогскомх свидкткльству (21) 2184222/25 (22) 2?.10.75 (46) 30.1 0.93 Бал. Na 39-40 (?2) Булгаков С.С.; Велиара ГА; Ивановский ГФ.; Лобов И.Е; Майшев ЮП (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ МНОГОЭМИТТЕРНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ 533157 Изобрете...

 (19)SU(11)749293(13)A1(51)  МПК 5    H01L21/306(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИОННО-ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ДВУОКИСИ И НИТРИДА КРЕМНИЯ Изобретение относится к полупроводниковой микроэлектронике, в частности к технологии и производству интегральных микросхем повышенной с...