Воинов Р.В.
Изобретатель Воинов Р.В. является автором следующих патентов:
Устройство для термического окисления пластин кремния
(19)SU(11)535771(13)A1(51) МПК 5 C30B31/06(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 07.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ Изобретение относится к устройству для термического окисления пластин кремния, которые находят широкое применение в технологии полупроводниковых...
535771