БОЙКО СЕРГЕЙ РИММОВИЧ

  т1 11 ент ;

  Изобретение касается абразивной обработки материалов и может быть использовано в электронной промышленности при контроле электрофизических параметров полупроводниковых структур. Цель изобретения - повышение производительности и качества обработки. Устройство содержит закрепленные на массивном основании 1 электродвигатель 2, шпиндель 3 в двух радиально-упорных подшипниках 4 и пред...

  Электротермия, технология нанесения токопроводящей пленки электронагревателя: основание, выполненное в форме тела вращения с переменным сечением по длине, нагревают с обеспечением равномерности температуры по длине, вращают вокруг продольной оси и наносят напылением из парогазовой фазы (аэрозольным методом) пленку. Одновременно с нанесением пленки дополнительно вращают основание...