САБАНОВ ФЕДОР ФЕДОРОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (II) 542923 Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.08.74 (21) 2052975/10 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 15.01.77. Бюллетень ¹ 2 Дата опубликования описания 15.02.77 (51) Ч. Кл.- зG 01L 21/30 Государстввнный комитет Совета Министров СССР (53) УДК 53...