ИВАНОВ М.Я.

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОН- . КОДИСПЕРСНОЙ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ путемокисления кремнийсодержащих соединений в кислородной или кислородсодержащей низкотемпературной плазме, отличающийся тем, что, с целью повьшения степени чистоты целевого продукта, в качестве кремнийсодержащих соединений берут алкоксипроизводные кремния, например, тетраэтоксисилан, и процесс ведут в плазме сверхвысокочаст...

  COOS С ЮЕТСКИХ COIWI РЕСПУБЛИК (19) (11) 151) 4 С 01 В 33/12 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТЮ (21) 3321350/23-26 (22) 20.07.81 (46) 30.12,85. Бюл. Н 48 (72) М. Я. Иванов, Т. Н. Купряшкина, О. С, Андреева, Е. А. Рябенко, В. П. Нилов и В. А. Ковалев (53) 546.28 (088.8) (54)(57) 1, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТО...

  Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме. Целью изобретения является повышение качества наносимых покрытий и расширение функциональных возможностей устройства. Устройство содержит разрядную камеру с расположенными на ней кольцевыми электродами, внутри которой на графитовом блоке расположены подложки, а также узел подачи реагентов и систему откачки. При подаче высокоча...