ШАЛУМОВ Б.З.

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОН- . КОДИСПЕРСНОЙ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ путемокисления кремнийсодержащих соединений в кислородной или кислородсодержащей низкотемпературной плазме, отличающийся тем, что, с целью повьшения степени чистоты целевого продукта, в качестве кремнийсодержащих соединений берут алкоксипроизводные кремния, например, тетраэтоксисилан, и процесс ведут в плазме сверхвысокочаст...