МАИШЕВ Ю.П.

  ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий систему подачи газа, источник питания, аксиально-симметричный магнитопроводящий корпус с кольцевой выпускной щелью в торцевой стенке корпуса, и расположенный внутри корпуса магнитный соленоид, отличающийся тем, что, с целью повышения интенсивности ионного пучка и упрощения конструкции, внутри корпуса соосно с ним на изоляторе установлен кольцевой анод, п...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЬ1ТИЯ в вакууме, содержащее соосно расположенные мишень, источник заряженных частиц, кольцевой анод и подложкодержатель, отл ичаю.щеес я тем, что, с целью повышения качества покрытия, оно снабжено электромагнитной катушкой, охватывающей кольцевой анод. союз советских СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ .РЕСПУБЛИК (Я)5 С 23 С 14/34 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТ...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК I (я)5 Н 01 Р 3/04 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,И К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2198247/25 (22) 11.12.75 (46) 30.10.91. Бюл. ¹ 40 (72) Ю.П.Маишев, В.В.Алексеев, Г.Ф.Ивановский, Е.А.Жуков, Ю.А.Дмитриев, Е.С,Гендель, Б.А.Егоров и Ю.П.Терентьев (53) 621.387.424 (088.8) (56)...

  1. МНОГОКАНАЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий являющиеся полюсами магнита катодные пластины с отверстиями в одной из них и расположенную между Изобретение относится к ионно-плазменной технике и может быть использовано для получения ионных пучков. Известны многоканальные источники ионов, применяемые для равномерного облучен ия больших поверхностей без сканирования пучка. Эти источн...