ШОПЕН ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

  Союз Советских Социалистических Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 543955 (61) Дополнительное к авт. свид-ву !, (22) Заявлено 10.02.75 (21) 2103833/24 (51) М. Кл.е Cr 06 Ц" 9/00 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликоваио25.01.77.Бюллетень № 3 (45) Дата опубликования опнсания1.7.03.78 Государстеенный номнтет Совета Мннистроо...

  Изобретение касается абразивной обработки материалов и может быть использовано в электронной промышленности при контроле электрофизических параметров полупроводниковых структур. Цель изобретения - повышение производительности и качества обработки. Устройство содержит закрепленные на массивном основании 1 электродвигатель 2, шпиндель 3 в двух радиально-упорных подшипниках 4 и пред...