ФРОЛОВА НАДЕЖДА ВАСИЛЬЕВНА

  «>545844 Сова Советских Социалистических Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву № 415466 (22) Заявлено 18.08.75 (21) 2)67570/06 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.02.77. Бюллетень ¹ 5 (45) Дата опубликования описания 11.03.77 (51) М.Кл. F 26 В 13/30 Государственный комитет Совета Мннист...

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОУСКРМУ СВИДВТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических республик ()) 615449 f6l) Доголнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 28.06.76 (21) 2380118/23-04 с присоедииениеее заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано 15.07,78,Бюллетень ¹ 26 (45) Дата опубликования описания 2е. 06. "Q. (51) М. Кл. 603 С 1/68 Гасударстееннмй квинтет Свевта Ннннстроа СССР...

  засвечивают участки, не занятые рисунком, через контактный шаблон. Пр дварительную засветку можно произ води т ь, например, че рез рабочий фотошаблон, закрыв участки с рисунком непрозрачным материалом. Затем непрозрачный материал убирают и экспонируют фоторезист через фотошаблон с рисунком. ! 1учшие результаты получаются, если 16 площадь открытой поверхности фоторе.зиста при п...