Способ одностороннего полирования плоских поверхностей деталей
Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра. Последние установлены с возможностью вращения вокруг своих осей и оси шпинделя, расположены эксцентрично относительно оси вращения инструмента. Выбор отношения скорости вращения шпинделя деталей к скорости вращения полиро...