Устройство для создания изображений
Изобретение может быть использовано для формирования меток для защиты от подделки и копирования и/или идентификации, а также для прямого преобразования свойств материалов и изготовления функциональных структур микронных и субмикронных размеров без использования резистных масок. Устройство содержит вакуумируемую камеру, в которой размещен источник пучка ускоренных ионов с углом расходимости менее 2...