Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали
306342 О П И С А Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ваюз Соеетоыиа Социалистичесыиа Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 12Х.1969 (№ 1335673/25-28) М. Кл. С 01Ь 11/06 с присоединением заявки № Приоритет Комитет ао делам изобретений и открвп!ий ори Совете Министров СССР Опубликовано 28.Х1.1972. Бюллетень № 36 Дата опубликования описания 29.1.1973...