Устройство для получения кремния высокой частоты термическим разложением тетраиодида кремния
Класс 40а, 46 № 127025 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ И. А. Иноземцева и С. Н. Рязанцев УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ ТЕРМИЧЕСКИМ РАЗЛО)КЕНИЕМ ТЕТРАИОДИДА КРЕМНИЯ Заявлено 2О апреля 1959 г. за _#_e 626292/22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 6 за 1960 г. Известные в л...