B81C3 - Сборка устройств или систем из отдельно обработанных компонентов, подвергающихся обработке

Устройство для нанесения нанокластерного покрытия

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии. Магнетрон, оснащенный полым трубчатым катодом-мишенью (1), присоединен с помощью электромагнитного направляющего устройства (ЭНУ) к рабочей камере (2), в которой смонтирован держатель (3) обрабатываемого изделия. Магнетрон оборудован дополнительным охлаждаемым катодом-мишенью (5), плоскость распыления которого перпендикулярна боковой поверхности т...

2362838

Способ изготовления туннельного сенсора механических колебаний

Изобретение относится к области технологии изготовления микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано при изготовлении сенсоров, функционирующих на основе туннельного эффекта и обеспечивающих преобразование «перемещение - электрический сигнал». Технический результат: повышение воспроизводимости и технологичности изделия. Сущность: на диэлектрической или полупроводниково...

2388682

Способ изготовления микромеханических устройств, содержащих газопоглотительный материал, и изготовленные этим способом устройства

Изобретение относится к изготовлению микромеханических устройств. Сущность изобретения: в способе изготовления микромеханических устройств их формируют соединением вместе двух частей при помощи прямого соединения; при этом одна из частей (12) выполнена из кремния, а другая - из материала, выбранного из группы, состоящей из кремния и полупроводникового керамического или окисного материала; причем...

2401245

Способ изготовления мэмс коммутатора

Изобретение относится к микросистемной технике, а именно к способу изготовления МЭМС коммутаторов, имеющих контактную систему. Техническим результатом изобретения является получение стабильных характеристик МЭМС коммутаторов, таких как омическое сопротивление, управляющее напряжение, время срабатывания, переходное сопротивление контактов, за счет формирования металлического контакта и получения м...

2417941

Способ получения высокопористого покрытия на основе двойных оксидов кремния и марганца

Изобретение относится к технологии получения высокопористых покрытий на основе систем двойных оксидов, применяемых в быстро развивающихся областях электронной техники и светотехнической промышленности, производстве материалов катализаторов, в качестве функционально-чувствительных, декоративных, фильтрующих и перераспределяющих излучение покрытий. Способ включает приготовление пленкообразующего р...

2496712

Способ сборки микроэлектромеханических устройств

Использование: область микроэлектроники, а именно сборка микроэлектромеханических устройств и систем (МЭМС) на основе пьезоэлектрического кварца. Технический результат: повышение надежности функционирования в условиях высоких комплексных внешних воздействий. Сущность: способ включает выполнение на контактных площадках первичного преобразователя (ПП) кристаллического типа объемных токовыводов (ОВ...

2525684

Способ сборки чувствительного элемента микромеханического датчика

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Задачей, на решение которой направлено изобретение, является упрощение и уменьшение технологического цикла сборки чувствительного элемента микромеханического датчика. В...

2525715

Соединительный пресс для матриц большого формата

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано при разработке технологического оборудования для изготовления гибридных микросхем большого формата, упрощения и удешевления такого оборудования. Заявленный соединительный пресс для матриц большого формата состоит из основания на котором помещена нижняя платформа для расположения на ней матриц большого формата, вер...

2586088

B81C3 - Сборка устройств или систем из отдельно обработанных компонентов, подвергающихся обработке

Патенты в этой категории