C23C14/46 - с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника (C23C 14/40 имеет преимущество)

П плтгмтно- .: -, i ! iliijj ii " г-.х;!ичв:^дя ^*^ iв. м. голянов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ l79 573 Союз Соеетскиз Социалистическив Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 25.1Х.1961 (¹ 746168/22-2) с присоединением заявки № Приоритет Кл. 481т, 15кв. 11ПК С 23с Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР У Д К 621.793.093. 12.002. 54 (088.8) Опубликовано 08.11.1966. Бюллетень ¹ 5 Д...

179573

Способ выполнения отверстий

2 ЗЯ7-ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕ ЕйьСТВУ Союз Соаетских Социалистимеских Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 02.VII.1966 (№ 1087439/22-1) с при оединением заявки № Приоритет Опубликовано 12.Х.1973. Бюллетень № 41 Дата опубликования описания 19.II.1974 л. С 23с 17/ОО Государственный комитет Сонета Министров СССР оо делам иэоорете. ий н отнрыти...

213517

Патент ссср 403202

403202 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ Союз Соватакнх СОЦие1листичбских Республик Зависимый от патента № Заявлено 07Л.1970 (№ 1407052/22-1) Приоритет 10.П.1969, № WP 48Ь/137744, ГДР М. Кл. С 23с 13:08 Гесударственни квмитет Сввета Министров СССР на делам изабретени11 и вткрытий УДК 621.793.14. .002,51(088.8) Опубликовано 19.Х.1973. Бюллетень ¹ 42 Дата опубликования описания...

403202

Способ плазменного нанесения покрытий в вакууме

(19)SU(11)1069451(13)A3(51) МПК 5 C23C14/46(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк патентуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: учтена за 5 год с 02.07.1995 по 01.07.1996(54) СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к области плазменной техники и вакуумной технологии нанесения покрытий и может быть использовано в мик...

1069451

Способ определения коэффициента распыления материалов

Изобретение относится к ионной технике и материаловедению и служит для повьпиения точности и упрощения измерения коэффициента распыления материалов. Сфокусированным пучком ионов, например, ксенона с энергией 5 кэВ, током 9,, диаметром ионного пучка 0,83-Ю см, с гауссовым распрегделением плотности тока создают кратер глубиной, равной диа метру, и одновременно с помощью массспектро...

1400138

Способ обработки оптических поверхностей

Изобретение относится к производству оптических деталей, в частности к обработке полированных оптических деталей из металлов и диэлектриков. Целью изобретения является повышение качества обработки оптических поверхностей. Способ заключается в том, что процесс ионной обработки оптической детали к поверхности, при этом обрабатываемую деталь вращают. Новым является то, что перед операцией ио...

1566785

Способ вакуумного нанесения тонких пленок

Изобретение относится к нанесению покрытий для целей электроники. Цель изобретения -сохранение плотности пленок при уменьшении их толщины. Тонкие покрытия плотной структуры получены ионным распылением мишени при использовании пучка ионов атомной массы М^^12, с длительностью пучка ^10'^с и плотностью мощности, обеспечивающей высокоскоростное ос.аждение плотной плазмы на подложку. З...

1708919

Устройство для ионно-лучевой обработки деталей

Изобретение относится к ионно-плазменной технологии, а более точно - к установкам для ионно-лучевой обработки поверхности деталей в вакууме. Сущность изобретения заключена в следующем В об ласти закрепления детали в вакуумной камере создается зона торможения ионов потока встречным по отношению к скорости ионов электрическим полем вблизи обрабатываемой поверхности детали. Устройст...

1758086

Способ изготовления акустических диафрагм

Использование: в области акустической техники при изготовлении устройств звукозаписи высокого качества, в частности, систем категории Hi-Fi. Сущность изобретения: фомирование слоев осуществляют на технологической подложке, выполненной из теплопроводного материала, на которую наносят слой титана, затем слой алмазоподобного аморфного углерода, после чего удаляют технологическую под...

1812236

Способ получения тонкой пьезо-электрической пленки оксида цинка

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (я)5 С 23 С 14/46, 14/02 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Щ ф К АВТОРСКОМУ СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ (21) 4878629/21 (22) 30.10.90 (46) 30.04.93. Бюл, ¹ 16 (71) Институт радиотехники и электроники АН СССР (72) И. М. Котеля нский, В.А,Луза нов и И.А.Шкляр (56) Тезисы Всесоюзной конференции "Ионно-...

1812242

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Использование: технология электронной техники, изготовление изделий оптики, оптоэлектроники, микроэлектроники, приборов отображения информации. Цель: повышение равномерности, наносимых покрытий. Сущность изобретения: устройство содержит генератор ионного потока, формирующий из разрядной плазмы ионный пучок протяженной формы. Напротив ионного генератора расположена протяженная миш...

1812243

Способ комбинированной ионно-плазменной обработки изделий

Использование: в вакуумно-плазменной технологии обработки изделий, в частности для упрочняющей поверхностной обработки инструмента и деталей машин посредством нанесения тонкопленочных покрытий. Сущность изобретения: способ комбинированной обработки включает погружение изделия в плазму, инициируемую электрическим разрядом, с последующей химико-термической обработкой. После химико-технолог...

2029796

Способ химико-термической обработки изделий ионно- плазменным методом в среде реакционного газа

Использование: в области вакуумно-плазменной обработки изделий, в частности для упрочняющей обработки инструмента и деталей машин. Сущность изобретения: химико-термическую обработку изделий осуществляют погружением последних в газовую плазму, инициируемую электрическим разрядом с последующими очисткой, нагревом и выдержкой в заданном температурном режиме, при этом выдержку в заданном темп...

2036245

Способ нанесения покрытия

Использование: изобретение относится к производству изделий, где требуется улучшенная отделка, защита от агрессивных сред, повышенных температур и повышенная износостойкость. Сущность изобретения: поверхность изделия предварительно обрабатывают ионным пучком инертного вещества в вакууме, затем по крайней мере один раз наносят на обрабатываемую поверхность, бомбардируя соответствующую миш...

2037563

Устройство для распыления материалов в вакууме

Использование: в ионно-лучевом нанесении материалов, в оптической, электронной и др. отраслях промышленности при получении покрытий из дорогостоящих либо токсичных материалов. Сущность изобретения: в устройстве используется ионный источник, пучок которого распыляет мишень, выполненную в форме собирающего рефлектора, а держатель подложек установлен относительно источника и мишени так, чтоб...

2049152

Способ нанесения пленочного покрытия

Использование: для упрочнения режущего инструмента, увеличения износостойкости трущихся деталей, защиты от агрессивных сред, повышенных температур и т. д. Сущность изобретения: на поверхность изделия в вакууме наносят покрытие распылением керамической мишени компенсированным ионным пучком инертного или химически активного вещества или комбинацией этих веществ. Производят предварительную о...

2052540

Импульсный лазерный испаритель с сепарацией ионов

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологическим устройствам для осаждения многослойных тонкопленочных структур испарением исходных материалов в вакууме. Для создания энергетически монохроматичного пучка ионов, испаряемого материала, имеющих одинаковую массу, заряд и энергию, в импульсном лазерном испарителе, содержащем импульсный лазер, объектив, систему сканиро...

2070611

Способ обработки изделий источником ионов

Использование: для обработки изделий в вакууме с целью очистки их поверхности, для повышения адгезии наносимых покрытий, а также для травления и ионной фрезеровки изделий, полировки поверхности, распыления любых материалов, упрочнения и модификации поверхности имплантацией ионов. Сущность изобретения: в вакуумной камере посредством источника ионов формируют ионный пучок. Напротив эмиссион...

2071992

Способ обработки поверхности

Изобретение предназначено для упрочнения резьбовых поверхностей и трущихся поверхностей. Способ обработки поверхности включает нанесение покрытия из тугоплавких соединений и обработку покрытия высококонцентрированным источником энергии, пучками докритических энергий до исключения пластичной составляющей в поверхностной зоне слоя покрытия. 2 з. п. ф-лы, 3 ил. Изобретение относится к общему...

2110607

Способ получения ионных пучков щелочных металлов

Изобретение относится к получению ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике, масс-спектрометрии и т.п. Способ включает нагрев двух солей металла, а именно галогенидов, карбонатов или нитратов, до температуры испарения в вакууме, подведение полученных паров по трубке к нагретой до температуры ионизации щелочного металла поверхности вольфрамого ионизатора. При этом соо...

2148870

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Изобретение относится к нанесению однослойных и многослойных покрытий различного функционального значения на детали большого диапазона размеров. Устройство содержит вакуумную камеру, откачную систему, узел крепления деталей, плазменные источники материала покрытий, источник газовых ионов, систему подачи газов, источники питания и блок управления, при этом источники материала покрытий расп...

2155242

Устройство для ионной обработки материалов

Изобретение относится к устройствам электронно-ионной технологии, в частности к газоразрядным устройствам для ионной очистки и травления материалов, и может найти применение при изготовлении элементной базы микроэлектроники из многокомпонентных материалов. Технологический результат - повышение производительности обработки. Устройство для ионной обработки материалов содержит генератор плаз...

2187168

Способ изготовления контактов вакуумной дугогасительной камеры

Изобретение относится к области электротехники, а именно к технологии изготовления контактов вакуумной дугогасительной камеры. Способ включает предварительное приготовление порошковой смеси по крайней мере из двух порошковых компонентов - проводящего и термостойкого, помещение заготовки из материала с высокой электропроводностью в вакуумную камеру и нанесение покрытия из порошковой смеси...

2200210

Устройство для нанесения упрочняющих покрытий

Изобретение относится к электротермии, в частности к устройствам для нанесения вакуумных ионно-плазменных покрытий. Технический результат от использования изобретения состоит в повышении коэффициента использования реакционных газов, снижении температуры нагрева деталей ионной бомбардировкой, уменьшении количества "микрокапельной" фазы, избежании формирования переходной зоны со столбчатой...

2210618

Ионно-лучевая установка выравнивания поверхности оксидных материалов

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для выравнивания поверхности оксидных материалов. Установка содержит вакуумную камеру, в которой размещены источник ионов, компенсатор объемного заряда, мишень из оксидного материала, одинакового с материалом подложки, нагреватель. Подложка и мишень установлены противоположно источнику ионов и обращены одна к другой. Имеетс...

2217526

C23C14/46 - с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника (C23C 14/40 имеет преимущество)

Патенты в этой категории