Установка плазменного осаждения и способ изготовления солнечных элементов
Изобретение относится к установке и способу плазменного осаждения для изготовления солнечных элементов (варианты). Установка включает в себя конвейер, имеющий продольную ось для поддержания, по меньшей мере, одной подложки; по меньшей мере, два модуля, каждый имеющий, по меньшей мере, одну плазменную горелку для проведения осаждения слоя продукта реакции на, по меньшей мере, одной подложке, по ме...
