C23C16/513 - с использованием плазменных струй

Сосуд с покрытием из материала с барьерным эффектом, способ и устройство для его изготовления

Изобретение относится к формированию покрытия из аморфного углерода с полимерной тенденцией на субстрат из полимерного материала, имеющего форму сосуда, который необходимо получить, такого как бутылка или флакон, с использованием плазмы, возбуждаемой посредством электромагнитных волн. В реакционную камеру, в которой было создано значительное разрежение, вводят заготовку сосуда из полимерн...

2189401

Способ нанесения мелкозернистых покрытий из оксида алюминия на режущие инструменты

Изобретение относится к способу нанесения покрытий из тугоплавкого оксида алюминия (Al2O3) на режущие инструменты, корпус которых изготовлен из цементированного карбида, кермета, керамики или быстрорежущей стали, и может найти применение в различных отраслях машиностроения. Нанесение покрытий производят при помощи процесса активированного плазмой химического осаждения из паровой фазы. Пла...

2210622

Способ и устройство для осаждения по меньшей мере частично кристаллического кремниевого слоя на подложку

Изобретение относится к способу и устройству для осаждения по меньшей мере частично кристаллического кремниевого слоя на подложку и может быть использовано в различных отраслях машиностроения. Генерируют плазму и подложку подвергают воздействию кремнийсодержащей текучей среды-источника и вспомогательной текучей среды, обладающей способностью вытравливать некристаллически связанные атомы кремния. Н...

2258764

Инжектор и способ для длительного введения реагентов в плазму

Изобретения могут найти применение в различных отраслях машиностроения при изготовлении изделий с защитными покрытиями и относятся к области плазменной технологии нанесения покрытий, в частности, к инжекционной системе для инжектирования текучего реагента в поток плазмы, устройствам для нанесения покрытий на подложку и способу нанесения покрытий на подложку. Инжектор, используемый в упомянутых объ...

2291223

Плазмохимический реактор низкого давления для травления и осаждения материалов

Изобретение относится к области технологии микроэлектроники, микронанотехнологии, а именно к конструкции плазмохимического реактора, в котором производятся плазмохимические процессы травления и осаждения различных материалов. Плазмохимический реактор включает реакционную камеру, индуктор, держатель подложки, металлический тонкостенный цилиндрический экран и теплоотводящие стойки, свойства которых...

2293796

Свч плазменный реактор

Изобретение относится к металлообработке, в частности к СВЧ плазменному реактору, и может найти применение в машиностроении и металлургии при изготовлении изделий с покрытиями, полученными способом плазменного парофазного химического осаждения пленок. СВЧ плазменный реактор содержит осесимметричную герметичную рабочую камеру в виде цилиндра, соосно расположенную в центральной его части платформу,...

2299929

Способ формирования тонких пленок, устройство для формирования тонких пленок и способ мониторинга процесса формирования тонких пленок

Изобретение относится к способу для формирования тонких пленок оксида на поверхности подложки, устройству для формирования тонких пленок (варианты) и способу мониторинга процесса формирования тонких пленок и может быть использовано при изготовлении упаковок в различных отраслях производства. Газовую смесь, содержащую газообразный мономер и окисляющий реакционный газ, превращают в плазму при измене...

2324765

Металлическая проволока, покрытая слоем металлического материала и предназначенная для армирования эластомерных материалов, и способ ее изготовления

Изобретение относится к способу изготовления металлической проволоки для армирования эластомерного материала, металлической проволоки и металлокорду для армирования такого эластомерного материала. Металлическая проволока содержит металлическую сердцевину, имеющую заданный исходный диаметр, и слой металлического покрытия из латуни. Способ включает следующие этапы: (а) подвергают сердцевину по меньш...

2338618

Свч плазменный реактор

Изобретение относится к СВЧ плазменным реакторам для плазмохимического синтеза вещества из газовой фазы. СВЧ плазменный реактор содержит герметичный осесимметричный радиальный волновод. В центральной части волновода установлены подложка, держатель подложки. Внешняя по отношению к подложке сторона держателя соединена с теплообменником. Между держателем подложки и теплообменником, с зазором по отно...

2393270

Свч плазменный реактор

Изобретение относится к СВЧ плазменному реактору и может найти применение при формировании пленки большого размера, соизмеримого по диаметру с длиной СВЧ волны. Реактор содержит герметичную осесимметричную камеру с каналами для газа и установленные в ней радиальный волновод, центральная часть которого является СВЧ резонатором, держатель подложки, коллектор, газовый теплообменник и тороидальную ме...

2403318

Лазерно-плазменный способ синтеза высокотвердых микро- и наноструктурированных покрытий и устройство

Изобретение относится к технологиям получения высокотвердых защитных и функциональных покрытий и может быть использовано для покрытия поверхностей деталей машин и механизмов, трубопроводов и насосов, элементов корпусов, функциональных и несущих металлоконструкций. Согласно способу формируют поток рабочего газа, содержащего несущий газ и химически активные реагенты, который направляют на обрабатыв...

2416673

Полимерное изделие, имеющее тонкое покрытие, образованное под действием плазмы, и способ получения такого изделия

Изобретение относится к полимерным изделиям, имеющим тонкое покрытие, и способу его изготовления. Указанное покрытие содержит два покрытия, представляющих собой полимеризованный в плазме тетраметилсилан: первое покрытие SiOxCyHz, где величина х равна 0-1,7, величина у равна 0,5-0,8, величина z равна 0,35-0,6, и второе покрытие SiOxCyHz, где величина х равна 1,7-1,99, величина у равна 0,2-0,7, вел...

2417274

Устройство непрерывного формирования пленки

Изобретение относится к устройству для плазменного химического парофазного осаждения пленки на поверхности полосообразной подложки и может найти применение при изготовлении дисплеев. Барабаны для осаждения (2 и 3) устройства расположены напротив, параллельно друг другу, таким образом, чтобы подложка S, намотанная на них, была обращена к каждому. Элементы 12 и 13, генерирующие магнитное поле, кото...

2417275

Способ модификации металлических поверхностей и устройство

Изобретение относится к технологиям модификации металлических поверхностей, например к технологиям азотирования, цементации, легирования и др. Способ модификации включает формирование потока рабочего газа, содержащего несущий газ, а также химически активные реагенты и/или легирующие добавки, и направление потока рабочего газа на модифицируемую поверхность. При этом на поверхность воздействуют лаз...

2425907

Способ получения наноструктурированных алмазных покрытий на изделиях из вольфрама

Изобретение относится к технологии неорганических веществ и материалов. Способ включае выращивание алмазного покрытия химическим осаждением из газовой фазы в СВЧ-плазме при температуре роста в камере осаждения, атмосфера которой содержит 5-30% метана на единицу объема H2, на поверхности изделий из вольфрама, имеющих осевую симметрию вдоль оси вращения, в игольчатых держателях так, чтобы тело вращ...

2456387

Устройство для вакуумного нанесения пленок с использованием электромагнитного излучения

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для вакуумного нанесения пленок с использованием электромагнитного излучения. Устройство содержит вакуумную реакционную камеру, размещенный в камере электрически изолированный подложкодержатель в виде полой усеченной составной пирамиды, нагреватель подложкодержателя, систему подачи реагентов, вакуумную систему, электрически соедине...

2467093

Способ нанесения покрытия из смеси стекла и керамики на элемент металлического тигля

Изобретение относится к способу нанесения покрытия на металлический тигель. Техническим результатом изобретения является снижение открытой пористости покрытия. Способ нанесения покрытия на стальные сектора тигля для стеклования включает нанесение на сталь секторов плазменным напылением смесь из стекла и керамики с последующей термической обработкой покрытия при температуре от 650°С до 850°С. При...

2510430

Способ плазмохимического синтеза и реактор плазмохимического синтеза для его осуществления

Изобретение относится к области плазмохимии, в частности к способу и реактору для плазмохимического синтеза, и может быть использовано при создании плазмохимических реакторов на основе лазеров. Способ включает формирование в реакторе, содержащем лазер, оптически связанный с фокусирующим объективом, и систему подачи реагентов посредством источника плазмы, плазменного образования, воздействие на н...

2532676

Контролируемое легирование синтетического алмазного материала

Изобретение относится к способу управления концентрацией и однородностью распределения легирующей примеси в синтетическом CVD-алмазном материале, используемом в электронных устройствах и датчиках. Алмазный материал получают в микроволновом плазменном реакторе, содержащем плазменную камеру 102, в которой расположена(ы) одна или более подложек-областей поверхности роста 105, поверх которой(ых) ос...

2555018

Продукт для очистки флюидов и способ получения

Изобретения могут быть использованы при бактерицидной обработке флюидов, таких как вода и промышленные жидкости. Продукт для очистки флюидов содержит, с одной стороны, пористое тело, имеющее наружную и внутреннюю удельную поверхность, и, с другой стороны, металлизированный слой нанометровой толщины, покрывающий, по меньшей мере, часть наружной и внутренней поверхности пористого тела. Мета...

2559498

Способ получения массивов ориентированных углеродных нанотрубок на поверхности подложки

Изобретение относится к технологиям получения массивов углеродных нанотрубок на поверхности подложки. В реакционной камере формируют поток рабочего газа, содержащего несущий газ, газообразный углеводород и предшественник катализатора для синтеза углеродных нанотрубок. Поток рабочего газа направляют на поверхность подложки со скоростью 100-1000 м/с. Вдоль потока рабочего газа направляют инфракрас...

2561616

Монокристаллический, полученный хогф, синтетический алмазный материал

Изобретение относится к технологии получения монокристаллического, полученного химическим осаждением из газовой фазы (ХОГФ), синтетического алмазного материала, который может быть использован в качестве квантовых датчиков, оптических фильтров, частей инструментов для механической обработки и исходного материала для формирования окрашенных драгоценных камней. Алмазный материал имеет общую концент...

2575205

Плазменный свч реактор для газофазного осаждения алмазных пленок в потоке газа (варианты)

Изобретение относится к плазменным СВЧ реакторам для газофазного осаждения алмазных пленок в потоке газа (варианты). Выполнение реактора на основе двух связанных резонаторов - цилиндрического резонатора и прикрепленного к его торцевой стенке круглого коаксиального резонатора, вдоль оси которых (соосно резонаторам) располагается реакционная камера в виде диэлектрической трубы, позволяет генерир...

2595156

Способ ввода пучка электронов в среду с повышенным давлением

Изобретение относится к способу ввода пучка электронов в среду с повышенным давлением, при котором подачу газа осуществляют через систему напуска в сопловой блок, состоящий из двух кольцевых сопел (внутреннего и внешнего, по оси внутреннего кольцевого сопла имеется отверстие для прохождения пучка электронов), при расширении из которого в среду с повышенным давлением в приосевой области течения фор...

2612267

Цилиндрический резонатор устройства плазменного химического осаждения стекломатериала из паровой фазы на внутреннюю поверхность подложки в виде трубки

Изобретение относится к устройству для осуществления процесса плазменного химического осаждения из паровой фазы. Цилиндрический резонатор устройства плазменного химического осаждения стекломатериала из паровой фазы на внутреннюю поверхность подложки в виде трубки содержит наружную цилиндрическую стенку, выполненную с резонансной полостью, проходящей в периферийном направлении вокруг оси цилиндра,...

2613252

C23C16/513 - с использованием плазменных струй

Патенты в этой категории