Способ анодного оксидирования поверхности многослойных полупроводниковых структур
175l42 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 19»ЧI!1.1963 (№ 853160/26-25) с присоединением заявки № Приоритет Опубликовано 21 IX.1965. Бюллетень № 19 Дата опубликования описания 18.XI.1965 Кл. 21g 11О2 48а, 1бо МПК Н Oll С 23b УДК 621.382.34:621.357.8 (088.8) Государственный ко...