Способ обновления многослойной структуры
Изобретение относится к неразрушающему способу обновления защитного слоя, нанесенного на подложку. Способ включает стадию электрохимического восстановления слоя термически выращенного оксида, расположенного поверх подложки и защитного слоя. Восстановление проводят при электрохимических условиях путем приложения внешнего напряжения к слою термически выращенного оксида при температуре по меньшей ме...