C23C14 - Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие (разрядные трубки с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда H01J 37/00)

Способ нанесения алундового нокрытия

697О2О ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 04.Ч.1966 (¹ 1074160j26-25) с присоединением заявки № Приоритет Кл. 2lg, 13 04-. МПК Н 0Ц УДК, 621.385.032.213.62 (088.8) Комитет по делам изобретекий и открытий при Совете Мииистрае СССР Опубликовано 31 V.1967. Бюллетень № 12 Дата оп...

197020

Способ металлизации пенопласта

О П И С А Н И EII98686 Союз Советскиз 4одиалистическиа Республик изоь ятрнид + TGPCNQex @ рд -р Зависимое от авт. свидетельства № 1(л. 48Ь, 13/ОО Заявлено 13Х1.1966 (№ 1082937/26-9) с присоединением заявки ¹ МПК С 23с УДК 621.793.1(088.8) Приоритет Опубликовано 09.71.1967. Бюллетень ¹ 13 Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров СССР l (Дата опубликования...

198086

Бункерное устройство для вакуумных установок

281102 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских СоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. свидетельства № Кл. 48b, 13/08 Заявлено ЗО.IX.1968 (№ 1272157/26-9) с присоединением заявки № Приоритет Опубликовано 03,IX.1970. Бюллетень № 28 Дата опубликования описания 19.XI.1970 МПК С 23с 13!00 УДК 621.793.14 (088.8) Комитет па делам изобретений и открыти...

281102

Вакуумная электропечь

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ссюа Ссввтскик Социалистичвскик Республик Зависимое от авт. свидетельства № МПК С 21J 9/52 С 23; 13, 3 Заявлено 24.Xl l.1969 (№ 1388551/22-1) с присоединением заявки ¹ Приоритет Опубликовано 16.Ill.1971. Бюллетень № 11 Дата опубликования описания 1б.IX.1971 Комитет по двлам !аобретений и открытий при Совете Министров СССР ДК...

298673

Патент ссср 340129

ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ 340I29 Союз Советских Социалистических Республик Зависимый от патента № Заявлено 17Л1.1969 (№ 1305929/23-26) М. Кл. В Old 5/00 С 23с 7/00 Приоритет Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР УДК 546.881.4.62-416 (088.8) Опубликовано 241/т1972. Бюллетень № 17 Дата опубликования описания 27.VI.1972 Авторы изобретения Инос...

340129

Датчик толщины напыляемых диэлектрических

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено ОЗ.XI.1971 (№ 1711645/26-9) с присоединением заявки № Приоритет Опубликовано 27.1Х.1973. Бюллетень ¹ 38 Дата опубликования описания 19.II.1974 М. Кл. G 01Ь 7/08 С 23с 13/00 Государственна и комитет Совета Министров СССР оо делам изобретен...

398814

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках, включающий нанесение металла на подложку и последующий нагрев, отличающийся тем, что, с целью исключения нагрева подложки, уменьшения глубины проникновения металла в подложку, нагрев осуществляется импульсом СВЧ-излучения мощностью импульса, обеспечивающей плотность поглощенной энергии 0,1 - 6 дж/см2, длительностью...

884482

Плазменный реактор для напыления

Плазменный реактор для напыления, содержащий камеру, по крайней мере два плазмотрона, установленные в стенке камеры, систему подачи напыляемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения качества напыления и экономичности процесса, камера выполнена сферической формы, а точка пересечения осей плазмотронов совпадает с центром камеры.

913911

Источник ионов

ИСТОЧНИК ИОНОВ, преимуществ венно для обработки изделий в вакууме , содержащий магнитную систему тороидальной формы с кольцевым межполюсным зазором, анод, расположенный внутри магнитной системы зквидистактно межполюсному зазору, катод и источник питания разряда, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью повышен:; ния однородности пучка ионов на выходе из источника, с одной стороны...

1097120

Устройство для имплантации вещества в материалы

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ВЕЩЕСТВА В МАТЕРИАЛЫ, содержащее источник пучка ускоренных электронов и облучаемую мишень из имплантируемого вещества, наложенную на обрабатываемой материал, отличающееся тем, что, с цепью повышения производительности имплантации, мишень выполнена из монокристаллической фольги и ориентирована относительно направления пучка электронов так, что выполняетс...

1118083

Способ ионно-плазменного нанесения тонких металлических пленок

Способ ионно-плазменного нанесения тонких металлических пленок преимущественно на полиэтилентерефталатную подложку путем распыления ионами аргона в вакууме материала мишени и осаждения его на движущуюся подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения их оптической прозрачности, электропроводности и адгезии к подложке, осаждение ведут при плотности тока...

1135223

Способ получения сегнетоэлектрических пленок

(19)SU(11)1137775(13)A1(51) МПК 6 C23C14/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано, например, при изготовлении пленочных интегральных схем и, в част...

1137775

Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЕПАЗМЕННОГО НАНЕСЕЬШЯ ПОКРЫТИЙ, содержащее анод, катод-мишень, магнитную систему с полюсными наконечниками, размещенную с нерабочей стороны катодамишени , подложкодержатель и дополнительную магнитную систему с полюсными наконечниками, установленную с нерабочей стороны подложкодержателя напротив одноименных полюсных наконечников магнитной системы, отличающееся...

1139170

Устройство для обработки изделий в вакууме

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОВРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее магнитную систему, выполненную в виде коаксиально расположенных магнитов и полюсных наконечников, размещенную между магнитами тороидальную разрядную камеру с анодом и газовым коллектором , катод, установленный за тороидальной камерой со стороны выходных отверстий газового коллектора, и систему электропитания, о т л и ч аю щ е...

1144417

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

СОЮЗ СОВЕТСКИХ сОциАлистических Я 1 1 ДР бдО А ) РЕСПУБЛИК г (g()g С 23 С 14/00 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К A ВТОРСКОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3629490/21 (22) 22.07.83 (46) 30,10 92. Бюл. Г 40 (71) Институт электроники им. У.А.Арифова (72) l1.Х.Эстерлис, Д.Д.Груич,В.С.Пич-ко, А.И.Юнусов и В.Н.Арустамов (53) 621 ° 793.14 (088...

1145690

Испаритель из вольфрама

ИСПАРИТЕЛЬ ИЗ ВОЛЬФРАМА, содержащий испарительный элемент и токоподводы , отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы испарителя и повышения качества покрытия за счет уменьшения количества примесей и брызг в испаренном веществе, испарительный эле.мент выполнен из монокрйсталлического или текстурированного поликристаллического вольфрама с ориентацией рабочей поверхности...

1167239

Способ нанесения покрытий в вакууме

1. Способ нанесения покрытий в вакууме путем регулируемого испарения материала покрытия за счет его нагрева электронным пучком, ионизации паров испаряемого материала путем зажигания в них разряда при подключении одного из электродов источника разрядного напряжения к испаряемому материалу с регулированием степени ионизации током разряда, а энергии ионов - напряжением смещения на покрываемо...

1267819

Способ очистки материала для нанесения покрытий в вакууме

СПОСОБ ОЧИСТКИ МАТЕРИАЛА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, включающий расплавление поверхности материала расфокусированным электронным лучом постоянной мощности на глубину, соответствующую толщине подготавливаемого слоя, и вывод примесей путем их испарения, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности очистки, одновременно с испарением примесей осуществляют их локализац...

1273402

Устройство для возбуждения разряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы

Устройство для возбуждения разряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы относится к области электротехники. Цель изобретения - повышение надежности устройства и увеличение срока службы. Устройство для возбуждения разряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы, содержащее охватывающий цилиндрический катод генератора вблизи его рабочего торца, кольцевой изолятор, повер...

1291009

Режущий инструмент и способ его изготовления

1. Режущий инструмент, содержащий инструментальную основу и нанесенное на нее износостойкое покрытие , между которыми расположен подслой из тугоплавких углеродсодержащих соединений, включающих элементы материала покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости режущего инструмента , он снабжен термостабильным переходным слоем толщиной 0,1-10 мкм, расположенным между о...

1342942

Многослойное покрытие и способ его получения

1. Многослойное покрытие преимущественно режущего инструмента, содержащее слой карбида титана толщиной 2-5 мкм, прилегающий к основе инструмента, промежуточный и внешний слои из окиси алюминия толщиной 1-2 мкм, отличающееся тем, что, с целью повышения стойкости инструмента, промежуточный слой выполнен из молибдена толщиной 2-3 мкм.2. Способ получения многослойного покрытия, включающий пос...

1372976

Способ нанесения металлических покрытий

Изобретение относится (с технологии нанесения металлических покрытий. Целью изобретения является упрощение и сокращение времени нанесения металлических покрытий. Согласно изобретению осаждение металла проводят при атмосферном давлении путем дозированной подачи азидов наносимого металла в дисперсной в зону действия источника, осуществляющего их фазовое превращение в режиме взрывно...

1394736

Способ нанесения металлического покрытия на подложку

Изобретение относится к электронной технике и служит для увеличения адгезии наносимого покрытия к подложке. Нанесение покрытий осуществляют термическим испарением с одновременной ионизацией паров компонент . Для образования пучков за счет сил Вандер-Ваальса, что способствует повьшению степени ионизации, отверстие d в тигле выбрано из выражения d(1-2)t, где t - толщина стенки тигл...

1442080

Способ нанесения полимерных покрытий в вакууме

Изобретение может быть использовано для получения покрытий, стойких к воздествию окружащей среды. Окружающей среды. Цель изобретения - повышение эффективности использования исходного материала за счет уменьшения непроизводительных потерь. Насыщенные пары из парогенератора 1 вводят в область тлеющего разряда плоской конфигурации. Это приводит к образованию плоского фронта потока ра...

1452194

Способ финишной обработки поверхности изделий из нержавеющей стали

Способ финишной обработки поверхности изделий из нержавеющей стали, включающий облучение поверхности ионами инертного газа с энергией 5 - 10 кэВ в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения класса чистоты обработки поверхности, сокращения длительности обработки и одновременного повышения упрочения поверхности, облучение ведут ионами азота интенсивностью (3-9)1414 ион/см2с, дозой (8...

1455761

Патенты в этой категории