Сверхвысоковакуумная транспортная система для сканирующих зондовых микроскопов
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия. В сверхвысоковакуумную транспортную систему для сканирующих зондовых микроскопов, содержащую линейный поворотный манипулятор с захватом, состыкованный с загрузочной камерой, кассету для носителей зондов и...
