Способ определения скорости потоков жидкостей и газов
Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств. По величинам постоянных времени нагрева и остывания платинового тонкопленочного резистора, выполненного на диэлектрической мембране, расположенной на кремниевой рамке-основании, определяют скорость потока и задают скважность импульсов питания. В паузе между импульсами питания по величине сопротивления холодного резисто...