Интегральный микромеханический акселерометр на основе туннельного эффекта
Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и технологичности. Сущность изобретения: в интегральный микромеханический акселерометр на основе туннельного эффекта, содержащий подложку, неподвижный электрод, инерционную массу,...