Матрица тонкопленочных приводных зеркал и способ ее изготовления
Изобретение относится к оптической проекционной системе. Технический результат заключается в разработке матрицы тонкопленочных активных зеркал для использования в оптической проекционной системе, которая не требует высокотемпературной обработки в процессе ее изготовления. Матрица тонкопленочных приводных зеркал размерностью М N включает в себя активную матрицу, подложку с матрицей соедин...