Категория
B81 - Микроструктурные технологии
Подкатегории
B81B2201/047 - Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства (пьезоэлектрические, электрострикционные или магнитострикционные приборы как таковые H01L 41/00)
B81C99 - Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем (изготовление микрокапсул или микросферических газоконтейнеров B01J 13/02; способы или устройства для изготовления или обработки пьезоэлектрических, электрострикционных или магнитострикционных элементов как таковые H01L 41/22)