Туннельный наносенсор механических колебаний и способ его изготовления
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании сенсоров, функционирующих на основе туннельного эффекта, обеспечивающих преобразование «перемещение-электрический сигнал», в информационных системах мониторинга для прогнозирования, диагностики и контроля воздействий ударных волн и акустических колебаний на различные конструкции, транспортные средства,...