Зонд для зондового микроскопа с использованием прозрачной подложки, способ изготовления зонда и устройство зондового микроскопа
Изобретение относится к зонду для зондового микроскопа с использованием прозрачной подложки, в котором кантилевер может быть оптически возбужден и измерен, и к способу изготовления зонда, и к зондовому устройству микроскопа. Зондовый микроскоп имеет зонд, снабженный одним или несколькими кантилеверами (1202, 1204) на одной поверхности каждой из прозрачных подложек (1201, 1203), при этом прозрачные...