Многокоординатная метрологическая платформа
Изобретение относится к областям техники, связанным с прецизионными координатными измерениями геометрии и локальных свойств материала нано- и микроструктур, протяженных в горизонтальном направлении, в частности интегральных микросхем, микроэлектромеханических систем и наномеханизмов. Изобретение направлено на расширение функциональных возможностей, увеличение достоверности измерений, повышение м...