Способ получения сфокусированного пучка нейтральных частиц с энергией выше 1 кэв
Изобретение относится к способам получения пучков нейтральных частиц высокой энергии. Целью изобретения является улучшение фокусировки пучка нейтральных частиц путем пропускания через камеру перезарядки пучка отрицательных ионов. Способ получения сфокусированного пучка нейтральных частиц с энергией выше 1 кэВ включает получение,ускорение, фокусировку пучка отрицательных ионов, и п...